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FS5001L 系列气体流量kraken中国
FS5001L系列气体质量流量kraken中国是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列kraken中国均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量kraken中国芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。kraken中国采用标贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多kraken中国集成。
测量范围：200SCCM，500SCCM，1000SCCM，4000SCCM，6000SCCM 可选。
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